武智敏(日语:武智 敏/たけち さとし,罗马化:Takechi Satoshi)是一名日本化学工程师,目前担任富士通半导体部门的部长。他因开发用于LSI制造的ArF准分子激光光微影技术的实用感光树脂(光阻剂)而知名。
出处:中文维基百科“武智敏”(CC BY-SA 4.0),节选
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武智敏(日语:武智 敏/たけち さとし,罗马化:Takechi Satoshi)是一名日本化学工程师,目前担任富士通半导体部门的部长。他因开发用于LSI制造的ArF准分子激光光微影技术的实用感光树脂(光阻剂)而知名。
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